高濃度廢水處理後回用，一般都必須以二級處理水為原水，經過不同工藝的淨化，達到不同的水質目標。其比較常規的廢水深度處理工藝是在生物處理之後增加諸如過濾、吸附、混凝沉澱及消毒等後續處理工藝，有砂濾、膜濾、反滲透、液氯、臭氧消毒等。處理流程可根據不同的用水對象和地方條件選用合適的流程。近年來也有一些新的處理工藝。處理效果好，出水根據不同用途，有的可直接回用。